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产品目录
总目录 第 23 卷
本总目录包括小型定位平台、控制控制器和大型定制设备的相关信息。
PDF (32.32MB)
产品介绍
本手册概述了神津精机的产品系列与特点。
PDF (1.63MB)
在半导体制造工序中使用高精度定位平台的使用示例。
总结了本公司定位平台在前工序与后工序中各阶段的应用事例。
PDF (7.48MB)
超高精度
6 轴对中平台
驱动装置采用双楔系统的并联机构，因此可以驱动升降和倾斜，而传统的 RST 校准装置必须单独添加升降和倾斜装置！
PDF (2.18MB)
超高精度
对中平台
RST Aligner
可进行三轴（XY、Θ）驱动的对准平台。其结构可灵活支持大直径传输孔和定制，详情请联系我们。
PDF (2.4MB)
智能对准
介绍我们的 3-DOF XYθ 小型对准平台和滚珠丝杠驱动的紧凑型旋转平台。
PDF (2.12MB)
300mm高精度XY平台
XY平台最适用于定位Φ300mm晶片。宽型X平台可在XY平面内实现高精度地位。灵活应对安装电缆支架，直线光栅尺，更换电机等。
PDF (1.71MB)
高精度对位调整用自动旋转平台
新型 □160 mm 滚珠丝杆驱动切线杆旋转台。最适用于晶片基板的对位调整。
PDF (1.69MB)
薄型高承载Z轴平台
Z 平台同时实现了“低床”“长行程”“高承重”的特点。
PDF (913KB)
高速驱动Z轴平台
通过皮带驱动实现高速的Z轴平台。
PDF (871KB)
高承载6轴平台方案提示
本手册收录了刚性特别高的6轴平台組合、最适用于半导体通电检查。
PDF (1.88MB)
KOHZU
6 轴机械手系列
介绍由小型定位平台组成的 6 轴机械手。我们还可根据您的应用提供定制服务。
PDF (5.48MB)
自动 Z 级特殊功能
本节介绍不同类型的自动 Z 形平台！还介绍了定制案例研究！
PDF (8.19MB)
滚珠丝杠驱动旋转轴 100mmx100mm
除了 50mmx50mm 和 70mmx70mm 外，该系列还增加了 100mmx100mm 尺寸！
与现有型号相比，它更耐用、分辨率更高、重量更轻，请予以考虑。
PDF (1.5MB)
表面轮廓测量系统
Dyvoce
该系统使用与工件匹配的激光位移计来测量和分析晶片的 SORI 量以及基板和组件的形状。
PDF (0.7MB)
图像稳定模拟器
TSS 系列
通过 CIPA 认证的图像稳定振动再现平台，用于验证相机的图像稳定功能。
PDF (1.2MB)
说明书
电机控制器 KOSMOS 系列
| 产品名称 | 备注 |
|---|---|
| CRUX-D/INCOM PDF | 2020 年 9 月 30 日更新的 1.04 版 (PDF 2.85MB) |
| Aries/lynx/pyxis PDF | 1.43 版于 2021 年 8 月 16 日更新 (PDF 3.84MB) |
| TITAN-AII PDF | 2014 年 10 月 1 日更新的第 1.11 版 (PDF 843KB) |
| TITAN-DIIF PDF | 2015 年 11 月 5 日更新的 2.00 版 (PDF 867KB) |
| VIRGO PDF | 1.01 版于 2020 年 4 月 30 日更新 (PDF 2.35MB) |
| 霞慕尼 PDF | Rev.1.2.3 于 2020 年 3 月 13 日更新 (PDF 8.5MB) |
| CRUX/CRUX-A（旧产品） PDF | Rev.1.41 更新日期：2020 年 4 月 27 日 (PDF 5.24MB) |
电机驱动器接线图
| 产品名称 | 备注 |
|---|---|
|
MD-551F,MD-55F,MD-255F MD-355F,MD-455F PDF |
电机电缆 CA**VL,CB**VL,RCA**VL,RCB**VL 2015/11/10 (PDF 376KB) |
电机驱动器
应用
| 产品名称 | 控制器 | 通信格式 | 下载(压缩文件) | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| 电机控制器 “Chamonix”（免费） | KOSMOS 系列（ARIES 和 CRUX） SC 系列 |
RS-232C USB Ethenet (TCP/IP) |
下载 | 版本 1.2.4 (ZIP 37.1MB) |
程序示例
| 产品名称 | 说明 | 下载(压缩文件) | 备注 |
|---|---|---|---|
| 电机控制器 控制示例代码 |
RS-232C 连接控制 TCP/IP 连接控制 Visual Basic, C# | 下载 | ZIP 690KB |
接线图
平台和驱动器的接线
将平台连接到其他制造商生产的电机驱动器或控制器时，请参考以下 PDF 链接。
电缆接线图
控制器电缆 (TITAN/CRUX/ARIES/LYNX)
| 产品类型 | 型号（** 表示长度） |
|---|---|
| TITAN/CRUX 用电机电缆 5 引线马达平台用 |
CA15**, RCA15** CB15**, RCB15** PDF |
| TITAN/CRUX 用电机电缆 10 引线马达平台用（旧产品） |
CA15**A CB15**A PDF |
| ARIES/LYNX 用控制电缆 | CPS*** PDF |
| ARIES/LYNX 用 反馈电缆（订制） |
CM20**ENC PDF |
| 客户自备控制器用 反馈电缆（订制） |
CENC-**F PDF |
驱动电缆
| 产品类型 | 型号（** 表示长度） |
|---|---|
| 驱动电缆 5 引线马达平台用 |
CA**VL, RCA**VL CB**VL, RCB**VL PDF |
| 驱动电缆 10 引线马达平台用（旧产品） |
CA**, RCA** CB**, RCB** PDF |
SC 控制器用电缆
| 产品类型 | 连接器类型 | 型号（** 表示长度） |
|---|---|---|
| SC-210/410 用电缆 （旧产品） |
矩形连接器 用于平台 |
CA28**, RCA28** PDF |
| 圆形连接器 用于平台 |
CB28**, RCB28** PDF | |
| SC-021 用电缆 （旧产品） |
矩形连接器 用于平台 |
CA13**, RCA13** PDF |
| 圆形连接器 用于平台 |
CB13**, RCB13** PDF | |
| SC-210/SC-410 用 反馈电缆（旧产品） |
矩形连接器 用于平台 |
CA28**ENC(-△△) (** 表示平台侧 电缆长度（m）) ((-△△) 表示编码器侧电缆长度（m）) (相同则不标记) PDF |
| 圆形连接器 用于平台 |
CB28**ENC(-△△) (** 表示平台侧 电缆长度（m）) ((-△△) 表示编码器侧电缆长度（m）) (相同则不标记) PDF |
|
| SC-021 用 反馈电缆（旧产品） |
CENC-**F PDF | |