自动X、XY平台指南

规格表阅读方法

YA07A-R103

 

规格表 说明
型号 YA07A-R103   1. 型号名称。
反向型号 YA07A-R103-RRR   2. 对称的型号。
台面尺寸 70mm×70mm   3. 平台上表面的大小。
导轨方式 精密十字滚柱导轨  4. 平台的导轨方式。
移动范围 ±10mm   5. 以中心点为基准,以正负表示。
传动方式 研磨螺杆、螺距0.5mm  6. 平台传动方式和螺距。
分辨率   整步/半步 0.5μm/0.25μm   7. 因微步分割数不同而异的平台各分辨率。

微步
(1/20分割)

0.025μm 
最高速度 2.5mm/sec   8. 平台可动作的最高速度(半步、10kpps时)。  
累积误差 ≦10μm以内/20mm  9.请参见检查方法。
重复定位精度 ≦±0.3μm   10. 请参见检查方法。
空程 ≦1μm   11. 请参见检查方法。
直线度 水平 ≦0.5μmm/20mm   12. 平台平台移动的直线性。
垂直 ≦1μmm/20mm 
背隙 ≦1μm   13. 请参见检查方法。
刚度 0.31 arcsec/N・cm   14. 平台承受单位力矩负载时的倾斜角度。
水平承载能力 88.2N(9kgf)   15. 平台中央可承受的负载。
主要材料 铝合金  16. 表示使用的主要材料。
外观

白色表面氧化处理

 17. 表示外观颜色及表面处理。
自重 1.7kg   18. 产品的重量。
直交度 ≦5μm/20mm   19. 表示两轴组合平台的直角交叉误差。
电机

5相步进电机
(东方马达: PK544PMB)额
电流 0.75A/相、基本步距角0.36°

 20. 表示使用的执行器的型号。
连接器

圆形20针
(广濑: RP13A-12RA-20PC)

 21. 平台上使用的连接器形状与针数。
平台接线类型 V3   22. 平台与步进电机以及光电传感器的接线形式。
价格(日元) 260,000   23. 表示标准产品的价格。
大修费(日元) ※ 84,000 〜   24. 表示大修费用。
洁净润滑脂更换费(日元) 60,000   25. 表示更换为洁净润滑脂的费用。
真空润滑脂更换费(日元) 60,000   26. 表示更换为真空润滑脂的费用。
同形电机更换费(日元) 24,000 〜   27. 表示更换为安装尺寸与标准电机相同的电机时的费用。
异形电机更换费(日元) 60,000 〜   28. 表示更换为安装尺寸与标准电机不同的电机时的费用。

※  大修费不包括零部件费

 

导轨方式

●十字滚柱导轨

十字滚柱导轨是由具有90°V形槽的滚柱轨道和圆柱滚子构成的导轨方式(参见图-1)。滚柱轨道的滑动面经过淬火和研磨精加工,平面度的精度高,硬度高。在这两个滚柱轨道夹持的空间内,交错配置着圆柱滚子。当平台移动时,多个圆柱滚子在滚柱轨道上滚动,因此,从停止状态启动时摩擦的变化(静摩擦与动摩擦之差)小,动作中不易引起滑动。此外,由于十字滚柱导轨利用线接触支撑载荷,刚度比滚珠导轨机构高。十字滚柱导轨使用的是本公司独自设计的产品,刚度大,精度高,精密控制滚柱轨道与圆柱滚子间施加的预压,以维持着高刚度。 十字滚柱导轨

 

●直线导轨

直线导轨是由轨道与循环滚珠构成的导轨方式(参照图-2)。滚珠在轨道的槽中转动,被设置在轴承一端的端盖提起,通过轴承本体上的循环孔,返回另一端。轨道的滑动面经过淬火和研磨精加工,平面度的精度高,硬度高。滚珠被夹持在产生滑动面的模拟圆柱的槽中,由2点或4点固定。由于模拟圆柱与轴承用2点相互接触,这种结构在动作中不易产生滑动。 直线导轨

传动方式

●研磨螺杆

研磨螺杆由经过高精度研磨加工的螺杆和螺母构成(参照图-3)。由于螺杆与螺母有自锁功能,在电机没有通电的情况下,即使平台承受轴向负载也不会移动。此外,与滚珠丝杆相比,其螺距小可提高分辨率。 研磨螺杆

●滚珠丝杆

滚珠丝杆采用在螺杆与螺母之间夹持滚珠的结构(图-4)。如果使螺杆转动,滚珠一边在螺杆与螺母之间滚动一边移动,重新返回原来的地方。由于利用滚珠的滚动,摩擦小,可获得高的传递效率,静摩擦与动摩擦相差小,不易引起粘滑现象。
滚珠丝杆

分辨率

平台分辨率可由下式求得。

 

ΔX = (p・Δθ/ 360m )

ΔX: 分辨率 ※
Δθ: 电机的基本步距角
p : 螺杆的螺距
m: 微步分割数

 

※本公司使用基本步距角0.36°/整步和0.72°/整步的两种电机,传动螺杆使用螺距0.5mm~5mm。此外,产品目录上记载的最小分辨率是以微步分割数为2(半步)计算所得的值。

最高速度

最高速度取决于高速域的电机和驱动器的转矩特性,但本公司定义的最高速度是将驱动器设为半步,使其以10kpps动作时的速度。 除了10kpps,在各自规格栏中进行描述。

反向、组合安装

本公司可根据顾客的要求应对左右反转安装连接器和传感器的反向规格。此外,对于XY方向的组合平台,本公司也对应标准平台与反向平台的组合。
标准 反向


 

●XY组合一览

在型号末尾附加-***。

 

NNN NNR NRN
NRR RNN RNR
RRR RRR