薄型平台指南

规格表阅读方法

YRA-070
规格表 说明
Model Number YRA-070 型号名称。
Table Size 70mm×70mm 平台上表面的大小。
Guide Mechanism XY:Cross-Roller Guide
θ:Cross-Roller Bearing
平台的导轨方式。.
Motion Range XY:±3mm θ:±3° 以中心点为基准,以正负表示。
Lead Mechanism Ball Screw, Lead 1.0mm 平台的传动方式。
Resolution Full/Half Step XY:2μm/1μm 
θ: ≈0.002546°/0.001273°
因微步分割数不同而异的平台各分辨率。
Maximum Speed XY:10mm/sec : Half 10kpps  
θ:12.7°/sec : Half 10kpps
平台可动作的最高速度(半步、10kpps时)。
Lost Motion X:≦ 2μm(AVE. 0.356μm) 
Y:≦ 2μm(AVE. 0.354μm) 
θ:≦ 0.005°(AVE. 0.0013°)
请参见检查方法。
Straightness Horizontal X:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.237μm/6mm) 
Y:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.253μm/6mm)
因微步分割数不同而异的平台各分辨率。
Vertical X:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.154μm/6mm) 
Y:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.187μm/6mm)
Repeatability X:≦±0.5μm(AVE. ±0.088μm) 
Y:≦±0.5μm(AVE. ±0.075μm)
请参见检查方法。
Angular Repeatability θ:≦ 0.001°(AVE. 0.0002°) 请参见检查方法。
Backlash X:≦ 1μm(AVE. 0.35μm) 
Y:≦ 1μm(AVE. 0.288μm)  
θ:≦ 0.005°(AVE. 0.0013°)
请参见检查方法。
Surface Runout θ:≦5μm/±3°(AVE. 2.708μm/±3°) 请参见检查方法。
Eccentricity θ:≦3μm/±3°(AVE. 0.517μm/±3°) 请参见检查方法。
Moment Load Stiffness 0.31 arcsec/N・cm 平台承受单位力矩负载时的倾斜角度。
Load Capacity (Horizontal) 49N (5kgf) 平台中央可承受的负载。
Material Aluminum Alloy 表示使用的主要材料。
Finish Clear-Matt Anodizing 表示外观颜色及表面处理。
Weight 1.7kg 产品的重量。
Motor PK513PB (Oriental Motor: Phase Current 0.35A, Basic Step Angle 0.72°, 5-Leads) 表示使用的执行器的型号。
Connector 20Pin Round (Hirose: RP13A-12JG-20PC) 平台上使用的连接器形状与针数。
Stage Wiring Type V3 平台与步进电机以及光电传感器的接线形式。
Sensor Model XY:F-106(HOME, LIMIT), θ:F-106R(HOME, LIMIT) 光电传感器基板
Price (JPY) ¥450,000 价格(JPY)
Lubricant Change(JPY) ¥45,000 润滑油更换费
Motor Change(JPY) Same size ¥45,000
different size ―
电机更换费
Overhaul Price(JPY) ¥120,000 大修费 ※

※大修费用不包括零部件费

 

导轨方式

●十字滚柱导轨

十字滚柱导轨是由具有90°V形槽的滚柱轨道和圆柱滚子构成的导轨方式(参见图-1)。滚柱轨道的滑动面经过淬火和研磨精加工,平面度的精度高,硬度高。在这两个滚柱轨道夹持的空间内,交错配置着圆柱滚子。当平台移动时,多个圆柱滚子在滚柱轨道上滚动,因此,从停止状态启动时摩擦的变化(静摩擦与动摩擦之差)小,动作中不易引起滑动。此外,由于十字滚柱导轨利用线接触支撑载荷,刚度比滚珠导轨机构高。十字滚柱导轨使用的是本公司独自设计的产品,刚度大,精度高,精密控制滚柱轨道与圆柱滚子间施加的预压,以维持着高刚度。 十字滚柱导轨

 

●十字滚柱轴承

十字滚柱轴承是由具有90°V形槽的滚柱轨道和圆柱滚子构成的导轨方式(参见图-2)。滚柱轨道的滑动面经过淬火和研磨精加工,滑动面的平面度的精度高,硬度高。在这两个滚柱轨道夹持的空间内,交错配置着圆柱滚子。当平台移动时,多个圆柱滚子在滚柱轨道上滚动,因此,从停止状态启动时摩擦的变化(静摩擦与动摩擦之差)小。此外,由于十字滚柱轴承利用线接触支撑负载,刚度比滚珠轴承机构高。 十字滚柱轴承

传动方式

●滚珠丝杆

滚珠丝杆采用在螺杆与螺母之间夹持滚珠的结构(图-4)。如果使螺杆转动,滚珠一边在螺杆与螺母之间滚动一边移动,重新返回原来的地方。由于利用滚珠的滚动,摩擦小,可获得高的传递效率,静摩擦与动摩擦相差小,不易引起粘滑现象。
滚珠丝杆

 

 

XY平台 分辨率

平台分辨率可由下式求得。

ΔX = (p・Δθ/ 360m )

ΔX: 分辨率 ※
Δθ: 电机的基本步距角
p : 螺杆的螺距
m: 微步分割数

※本公司使用基本步距角0.36°/整步和0.72°/整步的两种电机,传动螺杆使用螺距0.5mm~5mm。此外,产品目录上记载的最小分辨率是以微步分割数为2(半步)计算所得的值。

 

θ平台 分辨率

θ平台(滚珠丝杆)平台分辨率可由下式求得:

Δθs =tan-1 (Δθ・P / 360・R・m)

Δθs: 分辨率(°)
Δθ: 电机的基本步距角(°)
P : 滚珠丝杆的螺距(mm)
R : 滚珠丝杆的距离(mm)
m : 微步分割数

 

参考资料:滚珠丝杆的距离(mm)/strong>

型号 R (mm)
YRA-070 45
YRA-071 45
YRA-130 85
YRA-200 115