手动Z平台指南

规格表阅读方法

ZM07A-S3K
ZM07A-S3K

 

规格表 说明
型号 ZM07A-S3K   1. 型号名称。
反向型号 ZM07A-S3K-R   2. 对称的型号。
台面尺寸 70mm x 70mm   3. 平台上表面的大小。
导轨方式 精密十字滚柱导轨  4. 表示平台的导轨方式。
移动范围 ±3mm   5. 以中心点为基准,以正负表示。
垂直度 ≦4μm/6mm   6. 表示平台台面的上下移动方向对底板的垂直性。
最小读数

粗调 5μm/刻度
微调 0.25μm/刻度

 7. 千分头等能够读取的最小值。
水平承载能力 29.4N(3kgf)   8. 平台中央可承受的负载。
主要材料 铝合金  9. 表示使用的主要材料。
外观 白色表面氧化处理  10. 表示外观颜色及表面处理。
自重 0.9kg   11. 产品的重量。
传动方式

精密定位器
FPP03-13(13mm)

 12. 表示使用的传动器的型号和移动量。
价格(日元) 116,000   13. 表示标准产品的价格。
大修费(日元)* 24,000 ~   14. 表示大修费用。
洁净润滑脂更换费(日元) 18,000   15. 表示更换为洁净润滑脂的费用。
真空润滑脂更换费(日元) 18,000   16. 表示更换为真空润滑脂的费用。

※  大修费不包括零部件费

※  千分头不属于大修对象

 

导轨方式

●十字滚柱导轨

十字滚柱导轨是由具有90°V形槽的滚柱轨道和圆柱滚子构成的导轨方式。滚柱轨道的滑动面经过淬火和研磨精加工,平面度的精度高,硬度高。在这两个滚柱轨道夹持的空间内,交错配置着圆柱滚子。当平台移动时,多个圆柱滚子在滚柱轨道上滚动,因此,从停止状态启动时摩擦的变化(静摩擦与动摩擦之差)小,动作中不易引起滑动。此外,由于十字滚柱导轨利用线接触支撑载荷,刚度比滚珠导轨机构高。使用的十字滚柱导轨是本公司独自设计的产品,刚度大,精度高,精密控制滚柱轨道与圆柱滚子间的预压,以维持着高刚度。

●楔形十字滚柱导轨

楔形十字滚柱导轨在水平面上配置一组十字滚柱导轨,以1/4(大约14°)倾斜配置另一组(参照图-1)。如果从一侧押入楔子,固定在中心轴上的平台将上下移动。由于倾斜的十字滚柱导轨支撑了水平方向的分力,因此,平台上面的刚度得到强化(1/2型号也一样)。 楔形十字滚柱导轨

●哥特式导轨

哥特式导轨是由模拟圆柱的滑动面与滚珠构成的导轨方式(参见图-2)。模拟圆柱的滑动面被直接加工在上移动台与基座上,经过淬火和研磨精加工。滚子被夹持在产生滑动面的模拟圆柱的槽中。由于模拟圆柱与滚珠用4点相互接触,这种结构在动作中不易产生滑动。此外,利用滚子大小控制预压,减少了零部件数量。 哥特式导轨

传动方式

●千分头与杆杆方式

这种方式利用杆杆将千分头等的横向力转变为上下方向的力,使平台上下运动(参见图-3)。基本结构完全相同,有千分头式和精密定位器式两种。 千分头与杆杆方式

 

●楔子方式

这种方式利用楔子将千分头等的横向力转变为上下方向的力,使平台上下运动(参见图-1)。基本结构完全相同,传动方式有用研磨螺杆直接连接手轮的旋转传动方式和用精密定位器顶压楔子方式两种。

移动量

※ 以下型号的Z平台的千分头读数与实际移动量不同。

●杆杆杆传动方式

利用杆杆将千分头顶压的力转变为上下方向的力(参见图3)。严密的移动距离以杆的支点至力点和作用点的距离与千分头前端形状的函数来表达。千分头移动量的大约1/2成为上下移动量。

●楔子传动方式

用直接连在手轮上的研磨螺杆或精密定位器插进楔子,使上部平台上下运动(参见前页图-1)。由于楔子的纵横比为1:4,楔子压进量的1/4就是上下运动的移动量。对于手轮的型号,一周移动0.125mm,每个刻度移动5μm。对于精密定位器的型号,粗调1个刻度移动2.5μm,微调1个刻度移动0.125μm。

垂直设置型Z平台

垂直设置型Z平台是在以X轴平台为标准型号的基础上进行定制的产品。
通常,为了尽可能限制平台动作时的影响波及平台上面,将传动机构安装在平台下面。但是,在该状态垂直设置使用时,平台内的弹簧朝伸长方向承受负载,有时平台会在重力作用下下降(右图左)。通过改变千分头支架安装位置消除这一状态的就是垂直设置型Z平台(右图右)。
垂直设置型Z平台