旋转平台 / 关于平台检查

使用编码器(下图)检查自动旋转平台(θ平台)的累积误差、空程、重复定位精度及螺距误差。

 

手动自动旋转平台

 

<累积误差>

将任意位置规定为基准点,从基准点起朝一个方向以一定间隔依次进行定位,在360°范围内测量各定位点的测量值(实际从基准点移动的位置)与指令值(发出指令后应实际移动的位置)之差,将其最大值作为累积误差(左图的△L)。

累积误差

 

<空程>

将任意位置规定为基准点,从基准点起朝一个方向以一定间隔依次进行定位,测量1周后,使其反转,然后按照同样的方式回测到基准点。
将各定位点的去程和回程的位置的最大差作为空程。
※与X平台的空程定义不同。

空程

 

<重复定位精度>

将任意位置规定为基准点,从基准点起朝一个方向以一定间隔依次进行定位,测量第1周后,使其反转,返回到基准点。
然后再使其反转,按照与第1周相同的方式进行第2周的测量。
将各定位点的第1周与第2周的最大差作为重复定位精度。

重复定位精度

 

<螺距误差>

将任意位置规定为基准点,从基准点起朝一个方向以一定间隔依次进行定位,在蜗轮的1个齿(蜗杆旋转1周)的范围内测量各定位点的测量值(实际从基准点移动的位置)与指令值(发出指令后应实际移动的位置)之差,将其最大值作为螺距误差。

螺距误差

 

<表面跳动(公司内部规定)>

使台面旋转1周,在上表面的外圆周附近测量上下方向的偏移,将其最大差作为面表面跳动。

表面跳动

 

<偏心(公司内部规定)>

使台面旋转1周,测量转轴水平方向的偏移,将测量值的最大差作为偏心。

偏心