旋转平台 / 关于平台检查

使用编码器（下图）检查自动旋转平台（θ平台）的累积误差、空程、重复定位精度及螺距误差。

＜累积误差＞

将任意位置规定为基准点，从基准点起朝一个方向以一定间隔依次进行定位，在360°范围内测量各定位点的测量值（实际从基准点移动的位置）与指令值（发出指令后应实际移动的位置）之差，将其最大值作为累积误差（左图的△L）。

＜空程＞

将任意位置规定为基准点，从基准点起朝一个方向以一定间隔依次进行定位，测量1周后，使其反转，然后按照同样的方式回测到基准点。
将各定位点的去程和回程的位置的最大差作为空程。
※与X平台的空程定义不同。
※切杆式引线机构电动旋转台的运动损失定义与电动旋转台相同。
※切杆机构电动旋转台的运动损失定义与电动旋转台相同。

＜重复定位精度＞

将任意位置规定为基准点，从基准点起朝一个方向以一定间隔依次进行定位，测量第1周后，使其反转，返回到基准点。
然后再使其反转，按照与第1周相同的方式进行第2周的测量。
将各定位点的第1周与第2周的最大差作为重复定位精度。
※切线杆导引机构电动旋转台的角度重复性的定义与电动旋转台相同。

＜螺距误差＞

将任意位置规定为基准点，从基准点起朝一个方向以一定间隔依次进行定位，在蜗轮的1个齿（蜗杆旋转1周）的范围内测量各定位点的测量值（实际从基准点移动的位置）与指令值（发出指令后应实际移动的位置）之差，将其最大值作为螺距误差。

＜表面跳动（公司内部规定）＞

使台面旋转1周，在上表面的外圆周附近测量上下方向的偏移，将其最大差作为面表面跳动。
※在全行程的角度范围内，测量切线杆领先机构旋转阶段的表面跳动。

＜偏心（公司内部规定）＞

使台面旋转1周，测量转轴水平方向的偏移，将测量值的最大差作为偏心。
※在全行程的角度范围内测量切线杆领先机构旋转阶段的偏心率。