真空X/XY平台
MVXA07A-R202
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备注
机械规格
型号 | MVXA07A-R202 |
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台面尺寸 | 70mm×70mm |
导轨方式 | 精密十字滚柱导轨 |
移动范围 | ±10mm |
传动方式 | 滚珠丝杠、螺距1.0mm |
分辨率 整步/半步 | 1μm/0.5μm |
分辨率 微步(1/20分割) | 0.05μm |
最高速度 | 5mm/sec |
累积误差 | ≦5μm/20mm |
空程 | ≦0.5μm |
水平直线度 | ≦1μm/20mm |
垂直直线度 | ≦1μm/20mm |
背隙 | ≦0.5μm |
刚度 | 0.10 arcsec/N・cm |
水平承载能力 | 98N (10kgf) |
主要材料 | 铝合金 |
自重 | 0.83kg |
电气规格
电机 | 真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72° |
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连接器 | 真空用D-sub 9针 |
大修费 |
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~ |
润滑油更换选项 | |
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洁净润滑脂更换费 | |
真空润滑脂更换费 |
电机更换选项 | |
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同形电机更换费 | ~ |
异形电机更换费 | ~ |