真空转动(测角)平台
MVSA13A-RM01
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备注
机械规格
型号 | MVSA13A-RM01 |
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台面尺寸 | 130mm×130mm |
导轨方式 | 精密十字滚柱导轨 |
旋转范围 | ±10° |
传动方式 | 蜗轮蜗杆 1/400 |
分辨率 整步/半步 | 0.0018°/0.0009° |
分辨率 微步(1/20分割) | 0.00009° |
最高速度 | 4.5°/sec |
旋转中心高度 | 173mm±0.5mm |
旋转中心偏移量 | ≦φ0.05mm/± 10° |
空程 | ≦0.01° |
背隙 | ≦0.006° |
刚度 | 0.02 arcsec/N・cm |
水平承载能力 | 98N (10kgf) |
主要材料 | 铝合金 |
自重 | 5.1kg |
电气规格
电机 | 真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72° |
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连接器 | 真空用D-sub 9针 |
大修费 |
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~ |
润滑油更换选项 | |
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洁净润滑脂更换费 | |
真空润滑脂更换费 |
电机更换选项 | |
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同形电机更换费 | ~ |
异形电机更换费 | ~ |