真空转动(测角)平台

MVSA10A-RB01

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备注

机械规格
型号MVSA10A-RB01
台面尺寸100mm×100mm
导轨方式精密十字滚柱导轨
旋转范围±8°
传动方式蜗轮蜗杆 1/536
分辨率 整步/半步0.00134°/0.00067°
分辨率 微步(1/20分割)0.000067°
最高速度3.35°/sec
旋转中心高度172mm±0.2mm
旋转中心偏移量≦φ0.05mm/± 8°
空程≦0.005°
背隙≦0.003°
刚度0.02 arcsec/N・cm
水平承载能力68.6N (7kgf)
主要材料铝合金
自重2.6kg
电气规格
电机真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°
连接器真空用D-sub 9针
大修费
~
※大修费用不包括零部件费
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费
真空润滑脂更换费
电机更换选项
同形电机更换费 ~
异形电机更换费 ~
※电机交换费不包括电机费用

相关信息

精度检查在大气中进行。此外,不对应烘烤。
有关对应烘烤的产品,请咨询本公司营业部。

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