真空旋转平台
MVRA16A-WH01
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备注
机械规格
型号 | MVRA16A-WH01 |
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台面尺寸 | φ158mm |
导轨方式 | 轴承 |
旋转范围 | ±170° ※360°可 |
传动方式 | 蜗轮蜗杆 1/180 |
分辨率 整步/半步 | 0.004°/0.002° |
分辨率 微步(1/20分割) | 0.0002° |
最高速度 | 10°/sec(5kpps/sec,Half时) |
累积误差 | ≦0.01°/360° |
空程 | ≦0.008° |
重复定位精度 | ≦0.004° |
螺距误差 | ≦0.004°/2° |
背隙 | ≦0.004° |
表面跳动 | ≦20μm/360° |
偏心 | ≦10μm/360° |
刚度 | 0.03 arcsec/N・cm |
水平承载能力 | 588N (60kgf) |
主要材料 | 铝合金 |
自重 | 5.6 |
电气规格
电机 | 真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72° |
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连接器 | 真空用D-sub 9针 |
大修费 |
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~ |
润滑油更换选项 | |
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洁净润滑脂更换费 | |
真空润滑脂更换费 |
电机更换选项 | |
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同形电机更换费 | ~ |
异形电机更换费 | ~ |