真空兼容平台
MVZA07A-X103
价格(JPY)
-
-
图视图图下载
机械规格
型号
MVZA07A-X103
台面尺寸
70mm×70mm
导轨方式
精密十字滚柱导轨
移动范围
±10mm
传动方式
研磨螺杆、螺距 0.5mm
分辨率 整步/半步
1.0μm/0.5μm
分辨率 微步（1/20分割）
0.05μm
最高速度
2.5mm/sec : Half 5kpps
重复定位精度
≦±0.5μm
空程
≦1.5μm
垂直度
≦7μm/20mm
水平承载能力
49N (5kgf)
主要材料
铝合金
自重
1.4kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●垂直真空兼容电动 Z 平台，配有精密交叉滚柱导轨。
●进给系统使用高分辨率地面螺杆。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
