真空兼容平台
MVXA16A-R101
价格(JPY)
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机械规格
型号
MVXA16A-R101
台面尺寸
160mm×124mm
导轨方式
精密十字滚柱导轨
移动范围
±30mm
传动方式
研磨螺杆、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步
2μm/1μm
分辨率 微步（1/20分割）
0.1μm
最高速度
5mm/sec : Half 5kpps
累积误差
≦ 10μm/60mm
重复定位精度
≦±0.5μm
空程
≦ 2μm
水平直线度
≦ 2μm/60mm
垂直直线度
≦ 2μm/60mm
背隙
≦ 1μm
刚度
0.03 arcsec/N･cm
水平承载能力
294N (30kgf)
主要材料
铝合金
自重
3.6kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●真空兼容电动 X 平台，配有精密交叉滚柱导轨。
●进给系统使用高分辨率地面螺杆。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
