真空兼容平台
MVXA10A-R102
价格(JPY)
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机械规格
型号
MVXA10A-R102
台面尺寸
100mm×100mm
导轨方式
精密十字滚柱导轨
移动范围
±12.5mm
传动方式
研磨螺杆、螺距 0.5mm
分辨率 整步/半步
1μm/0.5μm
分辨率 微步（1/20分割）
0.05μm
最高速度
2.5mm/sec : Half 5kpps
累积误差
≦ 8μm/25mm
重复定位精度
≦±0.5μm
空程
≦ 1μm
水平直线度
≦ 1μm/25mm
垂直直线度
≦ 1μm/25mm
背隙
≦ 0.5μm
刚度
0.02 arcsec/N･cm
水平承载能力
196N (20kgf)
主要材料
铝合金
自重
1.8kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●真空兼容电动 X 平台，配有精密交叉滚柱导轨。
●进给系统使用高分辨率地面螺杆。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
