真空兼容平台
MVXA10A-L201
价格(JPY)
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机械规格
型号
MVXA10A-L201
台面尺寸
100mm×100mm
导轨方式
精密直线导轨
移动范围
±50mm
传动方式
滚珠丝杠、螺距 2.0mm
分辨率 整步/半步
4μm/2μm
分辨率 微步（1/20分割）
0.2μm
最高速度
10mm/sec : Half 5kpps
累积误差
≦ 15μm/100mm
重复定位精度
≦±0.5μm
空程
≦ 2μm
水平直线度
≦ 3μm/100mm
垂直直线度
≦ 3μm/100mm
背隙
≦ 2μm
刚度
0.05 arcsec/N･cm
水平承载能力
196N (20kgf)
主要材料
铝合金
自重
3.5kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●与真空兼容的自动 X 平台，配有精密线性导轨。
●长冲程型。
●进料系统使用滚珠螺杆，经久耐用。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
