真空兼容平台
MVXA07A-R202
价格(JPY)
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机械规格
型号
MVXA07A-R202
台面尺寸
70mm×70mm
导轨方式
精密十字滚柱导轨
移动范围
±10mm
传动方式
滚珠丝杠、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步
2μm/1μm
分辨率 微步（1/20分割）
0.1μm
最高速度
5mm/sec : Half 5kpps
累积误差
≦ 5μm/20mm
重复定位精度
≦±0.5μm
空程
≦ 0.5μm
水平直线度
≦ 1μm/20mm
垂直直线度
≦ 1μm/20mm
背隙
≦ 0.2μm
刚度
0.10 arcsec/N･cm
水平承载能力
98N (10kgf)
主要材料
铝合金
自重
0.83kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●真空兼容电动 X 平台，配有精密交叉滚柱导轨。
●进料系统使用滚珠螺杆，经久耐用。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
