真空兼容平台
MVSA13A-RT01
价格(JPY)
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机械规格
型号
MVSA13A-RT01
台面尺寸
130mm×130mm
导轨方式
精密十字滚柱导轨
移动范围
±10°
旋转范围
±10°
传动方式
蜗轮蜗杆 1/288
分辨率 整步/半步
0.0025° / 0.00125°
分辨率 微步（1/20分割）
0.000125°
最高速度
6.25°/sec : Half 5kpps
空程
≦0.01°
背隙
≦0.006°
刚度
0.02 arcsec/N・cm
水平承载能力
98N (10kgf)
工件距离
120mm±0.5mm
旋转中心偏移量
φ0.05mm/±10°
主要材料
铝合金
自重
5.1kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●真空兼容旋转平台采用精密交叉滚柱导轨作为导向系统。
●机身材料为铝。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
