真空兼容平台
MVSA05B-RT02
价格(JPY)
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机械规格
型号
MVSA05B-RT02
台面尺寸
50mm×50mm
导轨方式
精密十字滚柱导轨
移动范围
±10°
旋转范围
±10°
传动方式
蜗轮蜗杆 1/232
分辨率 整步/半步
0.00312°/0.00156°
分辨率 微步（1/20分割）
0.000156°
最高速度
7.75°/sec : Half 5kpps
空程
≦0.006°
背隙
≦0.003°
刚度
0.31 arcsec/N・cm
水平承载能力
29.4N (3kgf)
工件距离
50mm±0.2mm
旋转中心偏移量
φ0.05mm/±10°
主要材料
黄铜
自重
0.76kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●真空兼容旋转平台采用精密交叉滚柱导轨作为导向系统。
●机身材料为磷青铜。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
