真空兼容平台
MVRA16A-WH01
价格(JPY)
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机械规格
型号
MVRA16A-WH01
台面尺寸
Φ158mm
导轨方式
轴承
移动范围
±170°
旋转范围
±170°
传动方式
蜗轮蜗杆 1/180
分辨率 整步/半步
0.004° / 0.002°
分辨率 微步（1/20分割）
0.0002°
最高速度
10°/sec : Half 5kpps
累积误差
≦0.01°/360°
空程
≦0.008°
角度再现性
≦0.01°
节距误差
≦0.004°/2°
背隙
≦0.004°
刚度
0.03 arcsec/N・cm
水平承载能力
588N (60kgf)
表面跳动
≦20μm/360°
偏心
≦10μm/360°
主要材料
铝合金
自重
5.6kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●蜗杆和蜗轮式真空兼容电动旋转平台，配有精密轴承。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
