自动X/XY平台
XA16A-L2
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备注
●生産終了致しました。相当品に関してはお問い合わせください。
●精密リニアガイドを使用した自動Xステージです。
●ロングストロークタイプ。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。
●5相ステッピングモータ使用。
●SCシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●受注生産品です。
●精密リニアガイドを使用した自動Xステージです。
●ロングストロークタイプ。
●送り方式は耐久性に優れたボールネジを採用。
●本体材質はアルミ白色仕上げ。
●5相ステッピングモータ使用。
●SCシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。
●受注生産品です。
机械规格
型号 | XA16A-L2 |
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台面尺寸 | 160×160mm |
导轨方式 | 精密リニアガイド |
移动范围 | ±50mm |
传动方式 | ボールネジ リード2.0mm |
分辨率 整步/半步 | 2μm/step(Half時) |
最高速度 | 20mm/sec |
累积误差 | 15μm以内/100mm |
重复定位精度 | ±1μm以内 |
空程 | 4μm以内 |
背隙 | 2μm以内 |
刚度 | 0.3秒/kg-cm、ロール剛性 |
水平承载能力 | 30kg |
主要材料 | アルミ合金 |
外观 | 白色仕上げ |
自重 | 7.6kg |
电气规格
电机 | 5相ステッピングモータ(オリエンタルモータ)(PK569-B) |
---|---|
连接器 | 角形20ピン PC-1620、P-1620A-STA(ヒロセ) |
Options/Accessories
真空 | up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us. |
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Clean room | -C Lubricant exchange |
Mirror Symmetry | see technical for possibilities, contact us |
Motor handle | to manually move the stage |
Motor type | nearly any motor type can be mounted, contact us. |
Connector type | exchange to DSub 15 connector, contact us. |
Limit | different types of optical/mechanical, contact us. |
Encoder | Linear encoders (up to 50nm), contact us. |
Adapters | mount stages together. contact us.** |
Customization | Anything you need? contact us.** |
大修费 |
---|
~ |
润滑油更换选项 | |
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洁净润滑脂更换费 | ¥ 36,000 |
真空润滑脂更换费 | ¥ 36,000 |
电机更换选项 | |
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同形电机更换费 | ~ |
异形电机更换费 | ~ |
控制装置 | |
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电机控制器 | 请参照被对应的电机控制器 |
电机驱动器 | 请参照被对应的电机驱动器 |
电机电缆 | 请参照被对应的电机电缆 |
附件 | |
---|---|
附件 | 请参照被对应的附件 |