定位平台
【蒙布朗系列】
YM05A-C3-CL
机械规格
型号
YM05A-C3-CL
反向型号
YM05A-C3-RRR-CL
台面尺寸
50mm×50mm
台面尺寸
精密十字滚柱导轨
牵头机制
精密定位器 FPP03-13(13mm)
移动范围
粗動 13mm, 微動0.3mm
最小读取
粗動 10μm/div, 微動 0.5μm/div
直交度
≦20μm/13mm
真直度
≦2.0μm/13mm
刚度
0.61 arcsec/N・cm
水平承载能力
39.2N (4kgf)
主要材料
铝合金
外观
白色表面氧化处理
自重
0.6kg
大修费
¥30,000~
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费( 型号后缀为“-C”)
¥24,000
真空润滑脂更换费(型号后缀为“-V”)
¥24,000
附件
备注和特点
●带有精密交叉滚柱导轨的手动 XY 平台。
●机身材料为铝,经过透明亚光阳极氧化处理。
●中心按压式更易于使用。
●带有精密交叉滚柱导轨的手动 XY 平台。
●FPP03-13 是 Kohzu 独特设计和开发的亚微米测微头。