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300mm行程XY平台「YALW-L23301」（可定制）产品介绍

衷心感谢您一直以来的支持与厚爱。

我们荣幸地向您介绍一款非常适用于φ300mm晶圆定位的高精度XY平台。

本产品兼顾高精度与稳定性的设计，具备以下特点：
采用宽基座X轴结构，在整个行程范围内稳定支撑上轴的重心
垂直方向直线度：7μm（XY组合时的保证值）
有效抑制运动过程中的姿态变化，即使在工位上也能保持高定位精度
可根据需求更换为伺服电机等多种电机类型
可选配电缆拖链与光栅尺等组件

型号：YALW-L23301

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