真空兼容平台
MVZA10A-W202
价格(JPY)
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机械规格
型号
MVZA10A-W202
台面尺寸
100mm×100mm
导轨方式
精密十字滚柱导轨
移动范围
±7mm
传动方式
1/2-楔子, 滚珠丝杠、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步
1.0μm/0.5μm
分辨率 微步（1/20分割）
0.05μm
最高速度
2.5mm/sec : Half 5kpps
重复定位精度
≦±0.5μm
空程
≦1.0μm
垂直度
≦5μm/14mm
水平承载能力
98N (10kgf)
主要材料
铝合金
自重
3.25kg
电气规格
5 相步进电机
真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°°
连接器
真空用D-sub 9针 (Accu-Glass 产品: 9D-HVCP)
控制装置
附件
备注和特点
●楔形真空兼容自动 Z 平台，配有精密交叉滚柱导轨。
●进料系统使用滚珠螺杆，经久耐用。
●使用与真空兼容的 5 相步进电机。
