校准阶段
        
        
        
                                                    YRA-070
机械规格
                                型号
                                                YRA-070
                                            反向型号
                                                ---
                                            台面尺寸
                                                70mm×70mm
                                            导轨方式
                                                XY:精密⼗字滚柱导轨 θ:十字滚柱轴承
                                            移动范围
                                                XY:±3mm θ:±3°
                                            传动方式
                                                滚珠丝杠、螺距 1.0mm
                                            分辨率 整步/半步
                                                XY:2μm/1μm θ: 0.002546°/0.001273°
                                            最高速度
                                                XY:10mm/sec : Half 10kpps  θ:12.7°/sec : Half 10kpps
                                            重复定位精度
                                                X:≦±0.5μm(AVE. ±0.088μm) Y:≦±0.5μm(AVE. ±0.075μm)
                                            空程
                                                X:≦ 2μm(AVE. 0.356μm) Y:≦ 2μm(AVE. 0.354μm) θ:≦ 0.005°(AVE. 0.0013°)
                                            水平直线度
                                                X:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.237μm/6mm) Y:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.253μm/6mm)
                                            垂直直线度
                                                X:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.154μm/6mm) Y:≦ 1μm/6mm(AVE. 0.187μm/6mm)
                                            角度再现性
                                                θ:≦ 0.001°(AVE. 0.0002°)
                                            背隙
                                                X:≦ 1μm(AVE. 0.35μm) Y:≦ 1μm(AVE. 0.288μm)  θ:≦ 0.005°(AVE. 0.0013°)
                                            刚度
                                                X:0.6arcsec/N・cm(AVE. 0474 arcsec/N・cm) Y:0.6arcsec/N・cm(AVE. 0.434 arcsec/N・cm)
                                            水平承载能力
                                                49N (5kgf)
                                            表面跳动
                                                θ:≦5μm/±3°(AVE. 2.708μm/±3°)
                                            偏心
                                                θ:≦3μm/±3°(AVE. 0.517μm/±3°)
                                            主要材料
                                                Aluminum Alloy
                                            外观
                                                白色表面氧化处理
                                            自重
                                                1.45kg
                                            电气规格
                                    光电传感器基板
                                                XY:F-106(HOME, LIMIT), θ:F-106R(HOME, LIMIT)
                                            5 相步进电机
                                                东方电机:PK513PB
                                            连接器
                                                广濑: RP13A-12JG-20PC
                                            大修费
                                ¥120,000~
                                    润滑油更换选项
                                洁净润滑脂更换费( 型号后缀为“-C”)
                                            ¥45,000~
                                        真空润滑脂更换费(型号后缀为“-V”)
                                            ¥45,000~
                                        电机更换选项
                                    同形电机更换费
                                                ¥45,000~
                                            异形电机更换费
                                                ---
                                            控制装置
                                附件
                            备注和特点
                                机身厚度: 45mm