定位平台
【蒙布朗系列】
XM10A-S3-CL
价格(JPY)
¥111,000
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机械规格
型号
XM10A-S3-CL
反向型号
XM10A-S3-R-CL
台面尺寸
100mm×100mm
台面尺寸
精密十字滚柱导轨
牵头机制
精密定位器 FPP03-13(13mm)
移动范围
粗動 13mm, 微動0.3mm
最小读取
粗動 10μm/div, 微動 0.5μm/div
真直度
≦1.5μm/13mm
刚度
0.07 arcsec/N･cm
水平承载能力
98N (10kgf)
主要材料
铝合金
外观
白色表面氧化处理
自重
0.85kg
大修费
¥15,000~
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费（ 型号后缀为“-C”）
¥12,000
真空润滑脂更换费（型号后缀为“-V”）
¥12,000
附件
备注和特点
●带有精密交叉滚柱导轨的手动 X 平台。
●机身材料为铝，经过透明亚光阳极氧化处理。
●侧推式结构紧凑，适合在狭小空间使用。
●带有精密交叉滚柱导轨的手动 XY 平台。
●FPP03-13 是 Kohzu 独特设计和开发的亚微米测微头。
