真空X/XY平台
MVXA10A-R102
| 价格(JPY) |
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| ¥ |
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比较对象:
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备注
机械规格
| 型号 | MVXA10A-R102 |
|---|---|
| 台面尺寸 | 100mm×100mm |
| 导轨方式 | 精密十字滚柱导轨 |
| 移动范围 | ±12.5mm |
| 传动方式 | 研磨螺杆、螺距0.5mm |
| 分辨率 整步/半步 | 1μm/0.5μm |
| 分辨率 微步（1/20分割） | 0.05μm |
| 最高速度 | 2.5mm/sec |
| 累积误差 | ≦8μm/25mm |
| 重复定位精度 | ≦±0.5μm |
| 空程 | ≦1μm |
| 水平直线度 | ≦1μm/25mm |
| 垂直直线度 | ≦1μm/25mm |
| 背隙 | ≦0.5μm |
| 刚度 | 0.02 arcsec/N･cm |
| 水平承载能力 | 196N (20kgf) |
| 主要材料 | 铝合金 |
| 自重 | 1.8kg |
电气规格
| 电机 | 真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72° |
|---|---|
| 连接器 | 真空用D-sub 9针 |
| 大修费 |
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| ~ |
| 润滑油更换选项 | |
|---|---|
| 洁净润滑脂更换费 | |
| 真空润滑脂更换费 | |
| 电机更换选项 | |
|---|---|
| 同形电机更换费 | ~ |
| 异形电机更换费 | ~ |