真空X/XY平台
MVXA10A-L201
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备注
机械规格
型号 | MVXA10A-L201 |
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台面尺寸 | 100mm×100mm |
导轨方式 | 精密直线导轨 |
移动范围 | ±50mm |
传动方式 | 滚珠丝杠、螺距2.0mm |
分辨率 整步/半步 | 4μm/2μm |
分辨率 微步(1/20分割) | 0.2μm |
最高速度 | 10mm/sec |
累积误差 | ≦15μm/100mm |
空程 | ≦2μm |
水平直线度 | ≦3μm/100mm |
垂直直线度 | ≦3μm/100mm |
背隙 | ≦2μm |
水平承载能力 | 196N (20kgf) |
主要材料 | 铝合金 |
自重 | 3.5kg |
电气规格
电机 | 真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72° |
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连接器 | 真空用D-sub 9针 |
大修费 |
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~ |
润滑油更换选项 | |
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洁净润滑脂更换费 | |
真空润滑脂更换费 |
电机更换选项 | |
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同形电机更换费 | ~ |
异形电机更换费 | ~ |