真空X/XY平台

MVXA07A-L202

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备注

机械规格
型号MVXA07A-L202
台面尺寸70mm×70mm
导轨方式精密直线导轨
移动范围±35mm
传动方式滚珠丝杠、螺距1.0mm
分辨率 整步/半步2μm/1μm
分辨率 微步(1/20分割)0.1μm
最高速度5mm/sec
累积误差≦15μm/70mm
空程≦1μm
水平直线度≦3μm/70mm
垂直直线度≦3μm/70mm
背隙≦1μm
水平承载能力68.6N (7kgf)
主要材料铝合金
自重1.3kg
电气规格
电机真空用5相步进电机 额定电流 1.4A/相、基本步距角0.72°
连接器真空用D-sub 9针
大修费
~
※大修费用不包括零部件费
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费
真空润滑脂更换费
电机更换选项
同形电机更换费 ~
异形电机更换费 ~
※电机交换费不包括电机费用

相关信息

精度检查在大气中进行。此外,不对应烘烤。
有关对应烘烤的产品,请咨询本公司营业部。

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