小型6轴操纵手MPS系列

MPS

这是一种最适合张贴液晶投影仪、CCD相机元件时进行精细定位的小型6轴操纵手。与传统产品相比,同时实现了小型化、轻量化、高刚度。

规格

轴名称 移动范围 最高速度 *1 分辨率 *2 驱动器分割数
X ±5mm 1mm/sec 0.1μm 1/10
Y ±5mm 1mm/sec 0.1μm 1/10
Z ±5mm 10mm/sec 0.1μm 1/10
θx ±3° 3.8°/sec 約0.00038° 1/2
θy ±3° 2.8°/sec 約0.00028° 1/2
θz ±3° 18°/sec 0.0018° 1/4

*1 也有移动范围长的版本;
*2 分辨率可根据驱动器分割数的设置进行变更;
     也有高分辨率类型。

尺寸图

MPS

MPS

小型6轴操纵手