自动X/XY平台

XA10A-R2

价格(JPY)
¥ 170,000
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备注

机械规格
型号XA10A-R2
反向型号XA10A-R2-R
台面尺寸100mm×100mm
导轨方式精密十字滚柱导轨
移动范围±12.5mm
传动方式滚珠丝杠、螺距 1.0mm
分辨率 整步/半步1μm/0.5μm
分辨率 微步(1/20分割)0.05μm
最高速度5mm/sec
累积误差≦5μm/25mm
重复定位精度≦±0.2μm
空程≦0.5μm
水平直线度≦0.5μm/25mm
垂直直线度≦1μm/25mm
背隙≦0.5μm
刚度0.02 arcsec/N・cm
水平承载能力196N (20kgf)
主要材料铝合金
外观白色表面氧化处理
自重1.8kg
直交度-
电气规格
电机5相步进电机 (东方马达: PX535MH-B) 额定电流 0.75A/相、基本步距角0.36°
连接器方形20针(广濑: PC-1620, P-1620A-STA)
光电传感器基板JH
Options/Accessories
真空up to "ultra heigh vacuum" (UHV), contact us.
Clean room-C Lubricant exchange
Mirror Symmetrysee technical for possibilities, contact us
Motor handleto manually move the stage
Motor typenearly any motor type can be mounted, contact us.
Connector typeexchange to DSub 15 connector, contact us.
Limitdifferent types of optical/mechanical, contact us.
EncoderLinear encoders (up to 50nm), contact us.
Adaptersmount stages together. contact us.**
CustomizationAnything you need? contact us.**
大修费
¥ 48,000~
※大修费用不包括零部件费
润滑油更换选项
洁净润滑脂更换费 ¥ 36,000
真空润滑脂更换费 ¥ 36,000
电机更换选项
同形电机更换费 ¥ 12,000~
异形电机更换费 ¥ 30,000~
※电机交换费不包括电机费用
 控制装置
 电机控制器 请参照被对应的电机控制器
 电机驱动器 请参照被对应的电机驱动器
 电机电缆 请参照被对应的电机电缆
 附件
 附件 请参照被对应的附件
本公司也应顾客要求,承接产品改造业务。详细情况请咨询。

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